广东省机械工业质量管理协会

关于“卷对卷双面数字化光刻设备”项目成果评价的公示

登记号：2021004

登记日期：2021年09月10日

成果名称：卷对卷双面数字化光刻设备

完成单位：中山新诺科技股份有限公司

研究人员：梅文辉、汪孝军、罗覃东、白国梁、李源、劳仲标、陈冠楠

研究时间：2020年01月01日至2020年12月31日

成果评价单位：广东省机械工业质量管理协会

成果评价日期：2021年08月30日

成果应用行业：集成电路、半导体封装等电子产业领域

成果简介：本项目研发的卷对卷双面数字化光刻设备，采用高精度气浮移动平台、高精度双面运动控制、高精度扫描光刻成像系统、固态大功率紫外激光光源、数据转换和控制软件、高速数据处理和传输系统等关键技术，研发的光刻设备，可满足IC封装行业的需求，有效解决双面光刻高精度定位的难题。产品可广泛集成电路和半导体封装行业。产品性能经广东省质量监督机电产品（可靠性）检验站（广州）检验，均符合项目要求。项目产品经用户使用，运行稳定，反映良好，取得了较好的经济和社会效益。